GASERA ONE HF
フッ化水素ガス分析装置

フッ化水素(HF)は腐食性が高く有毒なガスであり、重大な労働安全衛生と環境に脅威をもたらします。

カンチレバーセンサーを用いた光音響分光法により、高感度で選択的なフッ化水素(HF)ガスのモニタリングが可能になります。 この技術はGASERAONE HFで採用されており、空気中の非常に低い0.5ppbレベルのHFガスを高感度で選択的に測定できます。

<フッ化水素(HF)について>

フッ化水素(HF)は、多種多様な工業製品の一般的な原材料です。 世界の生産能力は300万メートルトンを超えています。 フッ化水素(HF)は、冷媒、除草剤、医薬品、高オクタンガソリン、アルミニウム（製錬所および製錬所）、プラスチック、電気部品（クリーンルーム）、および蛍光灯の製造に使用されます。

製造に使用されるフッ化水素(HF)の60％は、冷媒を製造するプロセス用です。フッ化水素(HF)はガラスや金属のエッチングにも使用されます。

フッ化水素(HF)は、蛍石としても知られる鉱物の蛍石を硫酸と反応させることによって生成され、さらにフルオロカーボンを調製するための反応物として使用されます。

フッ化水素(HF)は、無色のガスまたは発煙液体として存在することも、水に溶解することもできます。水に溶解すると、腐食性が高く、ガラス、皮革、およびいくつかの金属を腐食する可能性のあるフッ化水素酸を形成します。フッ化水素(HF)は水と反応し、有毒で腐食性の蒸気を放出します。

フッ化水素(HF)は、低濃度でも重大な健康リスクです。米国環境保護庁(EPA)が推奨するHF急性暴露ガイドラインレベル1の値は、10分間の暴露で0.8mg/m3です。 EUの職業暴露限界は、1.8ppm/8時間暴露と3ppm/15分暴露です。米国では、制限は3ppm/8時間の暴露と6ppm/15分の暴露です。

空気中のフッ化水素(HF)ガス濃度が2ppmを超えると、目や気道に刺激を引き起こします。フッ化水素(HF)は皮膚を通って体内の組織に浸透し、細胞に損傷を与え、細胞が適切に機能しなくなる原因となります。 フッ化水素(HF)を吸い込むと、肺組織が損傷し、肺の腫れや体液の蓄積（肺水腫）を引き起こす可能性があります。フッ化水素(HF)との皮膚接触は、数時間後に発症して皮膚潰瘍を形成する重度の火傷を引き起こす可能性があります。したがって、周囲空気中における正確なフッ化水素(HF)ガスのモニタリングが必要です。

＜実験室とクリーンルームでのフッ化水素(HF)ガス測定事例＞

実験室で測定されたHF濃度

クリーンルームで測定されたHF濃度

ウェットベンチの蓋を開けた状態でのクリーンルーム内のHFとNH3の同時測定

• アプリケーション（大気中のHFモニタリング）
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• アプリケーション（クリーンルーム）
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• アプリケーション（連続排出監視システム）
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